誘導加熱SS MOCVDリアクター

誘導加熱式有機金属化学気相成長（MOCVD）リアクターは、加熱効率の向上とガス注入口との有害な磁気カップリングの低減を目的とした技術である。従来の誘導加熱MOCVDリアクターでは、誘導コイルがチャンバーの外側に配置されていることが多く、加熱効率が低下したり、ガス供給システムとの磁気干渉の可能性があります。最近の ... もっと読む