誘導加熱プラズマについて
プラズマは、正負の粒子が結合していない電気的に中性の媒体であり、全体の電荷はほぼゼロである。気体のように、プラズマは容器に入れない限り、明確な形状を持たない。プラズマを発生させるには、ガスに電界をかけ、原子核の周りの軌道から電子を取り除く。これにより、イオンと自由に流れる電子が混在し、プラズマに電気伝導性、磁場、外部電磁場に対する感度などの重要な特性を与える。
プラズマを生成し維持するための重要な要件は、継続的なエネルギー投入である。誘導は、プラズマ生成のための継続的なエネルギー入力を提供する理想的な手段である。プラズマの典型的な産業用途には、以下のようなものがある:
- プラズマ溶接
- 金属切断
- 表面処理(プラズマ溶射)
- マイクロエレクトロニクスにおけるエッチング
