opvarmning af mocvd-reaktor med induktion
Induktionsopvarmning af MOCVD-reaktorer (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) er en teknologi, der har til formål at forbedre opvarmningseffektiviteten og reducere skadelig magnetisk kobling med gasindtaget. Konventionelle MOCVD-reaktorer med induktionsopvarmning har ofte induktionsspolen placeret uden for kammeret, hvilket kan resultere i mindre effektiv opvarmning og potentiel magnetisk interferens med gasleveringssystemet. Nylige ... Læs mere