riscaldamento del reattore mocvd con induzione
Il riscaldamento a induzione dei reattori MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) è una tecnologia volta a migliorare l'efficienza del riscaldamento e a ridurre l'accoppiamento magnetico dannoso con l'ingresso del gas. I reattori MOCVD convenzionali con riscaldamento a induzione hanno spesso la bobina di induzione situata all'esterno della camera, il che può comportare un riscaldamento meno efficiente e una potenziale interferenza magnetica con il sistema di erogazione del gas. Recenti ... Leggi tutto