感應加熱 MOCVD 罐

感應加熱金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD) 反應器是一種旨在提高加熱效率和減少與氣體入口有害磁耦合的技術。傳統的感應加熱 MOCVD 反應器通常會將感應線圈設置在腔體外，這會導致加熱效率降低，並對氣體輸送系統造成潛在的磁性干擾。最近 ... 閱讀更多