تسخين مفاعل mocvd بالحث الحراري
إن مفاعلات الترسيب الكيميائي المعدني العضوي بالبخار الكيميائي (MOCVD) بالتسخين بالحث هي تقنية تهدف إلى تحسين كفاءة التسخين وتقليل الاقتران المغناطيسي الضار مع مدخل الغاز. وغالبًا ما تحتوي مفاعلات الترسيب الكيميائي بالترسيب الكيميائي للمعادن العضوية العضوية بالتسخين بالحث التقليدي على ملف الحث الموجود خارج الحجرة، مما قد يؤدي إلى تسخين أقل كفاءة وتداخل مغناطيسي محتمل مع نظام توصيل الغاز. وفي الآونة الأخيرة ... إقرأ المزيد