ohrev mocvd reaktora pomocou indukcie
Indukčný ohrev reaktorov na anorganické chemické vylučovanie z pár (MOCVD) je technológia zameraná na zlepšenie účinnosti ohrevu a zníženie škodlivého magnetického spojenia so vstupom plynu. Bežné reaktory MOCVD s indukčným ohrevom majú často indukčnú cievku umiestnenú mimo komory, čo môže mať za následok menej účinný ohrev a potenciálne magnetické rušenie so systémom prívodu plynu. Nedávne ... Prečítajte si viac