유도 가열 플라즈마 소개
플라즈마는 결합되지 않은 양전하와 음전하 입자로 이루어진 전기적으로 중성인 매질로, 전체 전하가 거의 0에 가까운 것이 특징입니다. 기체와 마찬가지로 플라즈마는 용기에 담지 않는 한 정해진 형태가 없습니다. 플라즈마를 생성하기 위해 기체에 전기장을 가하여 핵 주위의 궤도에서 전자를 제거합니다. 이렇게 하면 이온과 자유롭게 흐르는 전자가 혼합되어 전기 전도도, 자기장, 외부 전자기장에 대한 민감도 등 플라즈마의 주요 특성이 만들어집니다.
플라즈마를 생성하고 유지하기 위한 핵심 요건은 지속적인 에너지 입력입니다. 인덕션은 플라즈마 생성을 위한 지속적인 에너지 입력을 제공하는 이상적인 수단입니다. 플라즈마의 대표적인 산업 응용 분야는 다음과 같습니다:
- 플라즈마 용접
- 금속 절단
- 표면 처리(플라즈마 스프레이 코팅)
- 마이크로 일렉트로닉스 에칭
